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真空系统工程 基础与应用_谷田和雄著

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Tm熔点分子直径T。在真空室条件下的气体温度斯忒藩一玻尔兹曼常数Tv沸点流速,(流动速度)[cm/s]吸附量(吸附的分子数)平均速度形成单分子层所需要的吸附量M。=1时的气体的流速饱和吸附量(断面内的)最大流速单位表面积的分子数U均匀分布的随机数被吸附分子的滞留时间流体的流动速度(向量表示)剪切应力气体分子的(热运动)速度Tv真空系统排气时的时间常数气体分子的平均速度To吸附常数Um最可几速度对面积元dA所张的立体角速度平方的平均值从面积元d41出发、到达面积元均方根速度dA的分子数容积,(体积)[cm3]由面积元dA发射的分子的通量密体积流量度真空室的容积粘滞系数,粘滞率W蒸发量[g/s]自由分子粘滞系数距离,自由程[cm]平均自由程在粘滞流下,决定矩形管道的流导电子的平均自由程的常数离子的平均自由程Z平均碰撞频率Z=⑦/120℃空气的平均自由程入射频率管道摩擦系数蒸发速度自由分子热传导系数适应系数立体角a、B决定排气系统的排气特性的常数克分子数传输几率动粘滞系数,动粘滞率总传输几率碰撞截面压强损失系数卫=dP/pU修正系数压强损失系数热传导系数球坐标系或极坐标系中的一个坐标p1个气体分子的热能在真空室条件下的密度目录前言5.3应用举例…63主要符号参考文欧…68第6章真空中的气流(I)…69第1章真空的基本概念……16.1低真空区域的气流一低压气流…701.1真空、压强、分子密度、蒸汽压…16.2压缩性一喷嘴及其气流…736.3在有摩擦的导管内的压缩性流动…756.4圆截面导管内稀薄气流一一纳维斯托克斯(Navier--Stokes)方程76第2章气体分子运动论…17参考文献……792.1分子速度与速度分布…17第7章有关排气的二、三实验…80?.】各真空区城的不同的排气方法…802.3碰撞于表面(壁面)的分子数…217.2阿尔皲特的实验一】…832.4气体的粘滞性7.3.超高真空一极高真空的排气…862.5气体的热传导、适应系数…272.6热流逸、泻流…30第8章材料的放气……902.7扩散与热扩散……308.1真空装置的放气和材料放气…90参考义献…328.2放气量测量法(I)一流量测量法…92第3章真空中的气流(I)…338.3放气量测贤法(1)一流导法…973.1分子流(1)—一小孔的分子流…338.4放气量测量法(【)一压强上升法1043.2。分子流区域的条件…348.5各种材料及其放气……1073.3分子流(2)一流过國形管道的分子流…353,4粘滞流一流过圆形管道的粘滞第9章气体分子和固体之间的有关现3.5克努曾的实验公式9.1物理吸附、吸附平衡、吸附式…1219.2凝结系数、平均吸附时间、脱附…127第4章真空中的气流(I)…44参考文献…1384】各种形状管道的流导……44第10章气体分子和固体之间的有关现4.2连结管道、.弯管、合成流导…4643奥特莱传输几率的计算…4610.1化学吸附、粘附几率……139第5章蒙特卡罗法的应用…5210.2扩散…1435.1 Davis的方法…535,2传输几率的计算与实测…59名词术语(日、英、中)对照表…157
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